Beispiele
Forschung und Technik |
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1980
Analysen im Forschungslabor
Forschungs- und Entwicklungsarbeiten an Submicronmaterialien
und für die Röntgenmaskentechnologie mit mehreren Veröffentlichungen
und Patentanmeldungen |
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| Ionenstrahl-Ätztechnik von Submicron-Strukturen
für Röntgenmasken |
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| 1980-1985 Bestrahlungen am Synchrotron Doris in
Hamburg |
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| Wird in Kürze fortgesetzt... |